微电子工业是一种高科技产业，它涉及到各种微型电子器件和集成电路的设计、制造和应用。微电子工业对生产环境的要求非常严格，因为微电子器件和集成电路的尺寸非常小，极易受到空气中的粉尘、细菌、有机物等污染物的影响，从而影响其性能和可靠性。因此，微电子工业需要在洁净室中进行生产，洁净室是一种能够控制空气中的污染物含量和温湿度等参数的特殊房间。

然而，建造和维护一个洁净室是非常昂贵和复杂的，需要大量的投资、设备、人员和能源。而且，并不是所有的微电子生产工艺都需要同样高级别的洁净度，有些工艺只需要局部高洁净环境，而不需要整个房间都达到高洁净度。为了解决这个问题，洁净棚就应运而生了。

洁净棚是一种能够提供局部高洁净环境的空气净化设备，它可以快速、方便地建立一座简易的无尘室，适用于电子、微电子、半导体、液晶、医药、生物、工程、光学、航天等行业的局部高洁净度场合。洁净棚具有结构灵活、性能可靠、效果显著、成本节省等优点，是微电子工业理想的净化设备选择。

洁净棚的主要组成部分有以下几个：

一、风机过滤器单元（FFU）：FFU是洁净棚的核心部件，它由风机和过滤器组成，可以将空气过滤并送入洁净棚内，形成单向流或非单向流的高洁净空气流场。FFU可以根据不同的需求选择不同的过滤效率和风量，一般采用高效或超高效过滤器。

二、洁净棚骨架：骨架是洁净棚的支撑结构，一般采用铝合金或不锈钢材料制作，可以根据不同的尺寸和形状定制。骨架上可以安装灯具、仪表、插座等辅助设备。

三、洁净棚围护：围护是洁净棚的外部覆盖物，一般采用防静电软帘或硬板材料制作，可以隔离外部污染空气，并保持洁净棚内的正压。围护上可以设置门窗等通道设施。

四、洁净棚地板：地板是洁净棚的底部覆盖物，一般采用防静电地板或架空地板材料制作，可以承受设备和人员的重量，并方便回风和敷设管线。

洁净棚在微电子工厂的应用非常广泛，主要有以下几个方面：

一、在微电子工厂的前道工序中，如光刻、蚀刻、扩散、离子注入等，需要高级别的洁净度，一般采用垂直单向流的洁净棚，可以有效地防止粒子、分子和静电等污染物对微电子器件和集成电路的影响。

二、在微电子工厂的后道工序中，如切割、打线、封装等，需要中低级别的洁净度，一般采用非单向流的洁净棚，可以有效地防止尘埃、细菌和有机物等污染物对微电子器件和集成电路的影响。

三、在微电子工厂的检测和维修环节中，需要局部高洁净环境，一般采用便携式或移动式的洁净棚，可以有效地提供清洁和安全的操作空间，方便对微电子器件和集成电路进行检测和维修。

洁净棚是一种高效、经济、灵活的空气净化设备，它可以根据不同的需求提供不同级别的局部高洁净环境，为微电子工业的生产、检测和维修提供了有力的保障。随着微电子技术的不断发展和创新，洁净棚在微电子工厂的应用也将更加广泛和深入。