某微电子工厂生产高端集成电路芯片，需要在高洁净度的环境中进行光刻、蚀刻、扩散、离子注入等工序。由于这些工序对空气中的粉尘、细菌、有机物等污染物非常敏感，一旦受到污染，就会影响芯片的性能和可靠性，造成巨大的经济损失。因此，该工厂需要在生产区域建立一个洁净室，以保证空气中的污染物含量和温湿度等参数达到严格的标准。

然而，建立一个洁净室是非常昂贵和复杂的，需要大量的投资、设备、人员和能源。而且，并不是所有的工序都需要同样高级别的洁净度，有些工序只需要局部高洁净环境，而不需要整个房间都达到高洁净度。为了解决这个问题，该工厂决定采用洁净棚来提供局部高洁净环境。

洁净棚是一种能够提供局部高洁净环境的空气净化设备，它可以快速、方便地建立一座简易的无尘室，适用于各种局部高洁净度场合。洁净棚具有结构灵活、性能可靠、效果显著、成本节省等优点，是微电子工业理想的净化设备选择。

该工厂根据不同的工序和需求，定制了不同类型和规格的洁净棚，包括垂直单向流洁净棚、水平单向流洁净棚、非单向流洁净棚等。这些洁净棚可以根据现场情况进行组装和拆卸，方便调整和移动。这些洁净棚内部都安装了风机过滤器单元（FFU），可以将空气过滤并送入洁净棚内，形成单向流或非单向流的高洁净空气流场。FFU可以根据不同的需求选择不同的过滤效率和风量，一般采用高效或超高效过滤器。

在光刻工序中，该工厂采用了垂直单向流洁净棚，可以有效地防止粒子、分子和静电等污染物对芯片的影响。该工厂使用了美埃（中国）环境科技股份有限公司提供的ME-FFU-1型风机过滤器单元，该型号具有以下特点：

1、 风机采用无刷直流电机驱动，具有低噪音、低振动、低能耗、长寿命等优点。

2、过滤器采用超高效玻璃纤维滤纸制作，具有高过滤效率、低阻力、大风量等优点。

3、机体采用铝合金材料制作，具有轻巧、坚固、耐腐蚀等优点。

4、机体表面采用静电喷涂处理，具有美观、防静电等优点。

5、机体内部设有风速调节器，可以根据需要调节风速和风量。

在蚀刻、扩散、离子注入等工序中，该工厂采用了水平单向流洁净棚，可以有效地防止尘埃、细菌和有机物等污染物对芯片的影响。该工厂使用了清新净化设备（深圳）有限公司提供的QX-FFU-2型风机过滤器单元，该型号具有以下特点：

6、风机采用交流电机驱动，具有高效率、稳定性、可靠性等优点。

7、过滤器采用高效玻璃纤维滤纸制作，具有高过滤效率、低阻力、大风量等优点。

8、机体采用冷轧钢板材料制作，具有结实、耐用、防锈等优点。

9、机体表面采用烤漆处理，具有美观、防静电等优点。

10、机体内部设有差压表，可以显示过滤器的使用状态和更换时间。

通过使用洁净棚，该工厂成功地提供了局部高洁净环境，保证了芯片的生产质量和安全性。与建立一个洁净室相比，该工厂节省了大量的投资、设备、人员和能源，降低了生产成本和运行费用。同时，该工厂也提高了生产效率和灵活性，适应了微电子技术的不断发展和创新。该工厂的负责人表示，洁净棚是微电子工业理想的净化设备选择，为微电子工业的发展做出了贡献。