净化棚也称作洁净棚，是一种可提供局部高洁净环境的空气净化设备，净化棚的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、结构所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的影响。洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃粒子的捕集效率可达99···
